準(zhǔn)分子激光器具有半導(dǎo)體處理的新本領(lǐng)光源在半導(dǎo)體工業(yè)(半導(dǎo)體器件的檢查、檢測、修整、處理及標(biāo)印)發(fā)展的整個(gè)進(jìn)程中起著關(guān)鍵性作用。準(zhǔn)分子激光處理乃是半導(dǎo)體工業(yè)進(jìn)步的1新重要步驟。長期以來,具有確定光譜范圍的非相干源在光刻及檢驗(yàn)方面起著可貴的作用。相干源是非常有效的。它的優(yōu)點(diǎn)是:峰值強(qiáng)度高,平均功率高,空間性能可控,南京準(zhǔn)分子預(yù)混氣,譜線純。這些優(yōu)點(diǎn)使其成為工業(yè)應(yīng)用的顯然替代者。



準(zhǔn)分子以激發(fā)態(tài)形式存在,壽命很短,僅有10^(-8)S量級(jí),基態(tài)為10^(-13)S量級(jí),躍遷發(fā)生在低激發(fā)態(tài)和排斥的基態(tài)(或弱束縛)之間,其熒為一連續(xù)帶。由于其熒光譜為一連續(xù)帶,故可以實(shí)現(xiàn)波長可調(diào)諧運(yùn)轉(zhuǎn)。由于激光躍遷的下能級(jí)(基態(tài))的離子迅速離解,激光下能級(jí)基本為空的,極易實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn),因此量子效率很高,接近100%,且可以高重復(fù)頻率運(yùn)轉(zhuǎn)。



工業(yè)技術(shù)的升級(jí)轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準(zhǔn)分子激光的誕生,準(zhǔn)分子預(yù)混氣哪家好,以其高光子能量所稱著,在對(duì)突破材料限制需求越來越迫切的時(shí)代,準(zhǔn)分子激光氣再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的較前沿。
中文名:準(zhǔn)分子激光氣
其他名稱:氟化ya激光氣體(193nm);氟化ke激光氣體(248nm);氯化氙激光氣體(308nm)
化學(xué)式:ArF、KrF、XeCl
產(chǎn)品類型:ArF,KrF,XeCl,準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商,5%F2/He, Kr/Ne,生產(chǎn)準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠家,F(xiàn)2/Kr/Ne,Ar/Ne,F(xiàn)2/Ar/Ne,UN NO.: UN1956
閥門型號(hào):CGA679,DIN 8,DIN 14
包裝:10L、16L、20L、49L、50L



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